在單晶硅的生產中常常會發(fā)現(xiàn)石墨件的使用壽命往往比預計的壽命要短的多,由于過多地更換石墨器件增加了石墨煅燒的次數(shù)和電能的消耗,除增加了企業(yè)生產成本的同時還制約了產能的有效發(fā)揮。
發(fā)生這種狀況主要有以下幾個方面的原因:
1 選材不對
由于石墨件在熱場中所起的作用各不相同,對其所用的材質也必然會有所不同。通常電極、連桿、加熱器、加熱器螺絲、石墨坩堝、導流筒、導流筒支撐環(huán)、保溫筒,這些部件都應選用等靜壓生產的細結構高強度的石墨材料來加工,這樣才能滿足生產的實際需要。
其它如:底盤、反射板、防漏板、上蓋板等器件可選用擠壓式生產或是中粗結構的石墨來加工。前提是在生產中,能保證符合生產要求。
2 設計不合理
在石墨件的使用過程中有些看似石墨存在問題而發(fā)生的事故,其實好多都是因設計時就存在缺陷而造成的。
因此在設計石墨件時除了要考慮材料本身的等級、規(guī)格以外,還必須充分考慮到石墨件在使用中所需要的強度,并以此來確定其幾何尺寸。
3 使用方法不當
在眾多的石墨件使用的問題中,石墨坩堝的破裂占有很大的比例,而造成這種狀況的原因中,使用不當是最不容忽視的主要原因。
正常情況下,1個18"或20"的石墨坩堝可用45爐左右,然而有非常多的石墨坩堝雖然在設計、選材、加工、煅燒中都未發(fā)生問題,但依然使用壽命很短,且有些石墨坩堝破裂后,從斷面來看遠未到達其應有的自然損耗程度。
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